Въведение в приложението
*Автоматизирано обработване на материали по краищата на полупроводникови проводници
*Подходящ за процеси с разхлабени производствени цикли
*Подходящ за ситуации на индивидуален материален поток
*Подходящ е за поток от хора на земята и обработка на материали без ограничения
*Подходящо за цехово оборудване не е фиксирано и поддържа промяна на оформлението
*Отнася се за Wafer test BG WS DB WB Final TEST
* Съответствие с ISO14644-14 за чиста стая, стандарт SEMI S2 и ESD стандарти
Система за зареждане
Единична акумулаторна станция
Количество за съхранение | 1/2 кошче + 1 кошче за смяна |
Чист клас | клас 1К |
Система за контрол на | PLC |
Система за данни | BCMS (по избор) |
Време за смяна на батерията | 3 минути |
Акумулаторна станция
Количество за съхранение | ≥5 кошчета |
Чист клас | клас 1К |
Система за контрол на | PLC |
Система за данни | BCMS |
Време за смяна на батерията | 4 минути |
Система за управление на батерията
Въведение в приложението
* Автоматизирана обработка на материали при производство на полупроводници
*Подходящ е за кратки цикли и множество комбинирани производствени ситуации
*Подходящ е за работа от точка до точка с голям обем, голямо тегло и ниска точност на докинг
*Подходящо за ФУРНА, Burn in, Rack кошници, носач на кутия
*Съответства на ISO14644-14 за чисти помещения, стандарт SEMI S2 и ESD стандарти
Приложения
Полиране и транспорт на вафли
SMT MGZ товаро-разтоварна дейност
Зареждане и разтоварване на ФУРНА
E-rack трансбордиране
Блок4. No.358 Jinhu Road, Pudong District, Шанхай, Китай